電子無塵車間是電子制造行業(yè)中重要的生產環(huán)境，廣泛應用于半導體、液晶顯示、精密儀器、光電元件等領域。其主要任務是控制空氣中的塵埃粒子、微生物及溫濕度，避免產品在生產過程中受到污染。為了達到并維持所需的潔凈等級，電子無塵車間需配備一系列專業(yè)設備。

一、空氣凈化設備

1. 初效、中效、高效過濾器（HEPA）

   ● 用于分級過濾空氣中的塵埃顆粒，HEPA過濾器可有效攔截0.3微米以上的微粒，是保持潔凈度的核心設備。

2. 風淋室

   ● 人員進出車間時必須通過風淋室，利用高速潔凈氣流吹除人體和衣物上的塵粒，避免污染源進入潔凈區(qū)。

3. 潔凈工作臺

   ● 提供局部高潔凈作業(yè)空間，適用于關鍵工序或核心裝配區(qū)域，通常配有垂直或水平層流系統(tǒng)。

4. FFU（風機過濾單元）

   ● 集成風機與高效過濾器的模塊化設備，可靈活布置于天花板或設備內部，實現潔凈空氣循環(huán)供應。

二、環(huán)境控制設備

1. 溫濕度控制系統(tǒng)

   ● 精確控制車間溫度與濕度，防止靜電產生和元件受潮，保證電子產品性能穩(wěn)定。

2. 潔凈空調系統(tǒng)（HVAC）

   ● 與凈化系統(tǒng)聯動運行，實現空氣過濾、溫濕調節(jié)與送風壓差控制，是整個潔凈室環(huán)境調控的核心。

電子無塵車間

三、防靜電設備

1. 靜電消除器

   ● 安裝于工作區(qū)域或設備端口，用于中和物體表面靜電，防止電子元件受損。

2. 防靜電地板、服裝和工具

   ● 保證工作人員與設備接觸過程中不產生靜電積累，防范靜電放電風險。

四、潔凈監(jiān)控與管理系統(tǒng)

1. 潔凈度在線監(jiān)測儀

   ● 實時監(jiān)測車間內空氣粒子濃度，確保潔凈等級始終符合標準要求。

2. 壓差監(jiān)控系統(tǒng)

   ● 控制不同潔凈等級區(qū)域之間的空氣流向，確保潔凈空氣由高等級區(qū)域流向低等級區(qū)域。

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